| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR THE INSPECTION OF SCATTERED RESIST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100274832(B1) |
申请公布日期 |
2000.12.15 |
| 申请号 |
KR19970036913 |
申请日期 |
1997.08.01 |
| 申请人 |
MITSUI KINZOKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MORIYA, KAZUO |
| 分类号 |
G03F7/26;G01N21/94;G01N21/956;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):H05K13/08;G01N21/86 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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