发明名称 SINGLE CRYSTAL SILICON ON QUARTZ
摘要
申请公布号 KR100275828(B1) 申请公布日期 2000.12.15
申请号 KR19957002647 申请日期 1995.06.26
申请人 HONEYWELL INC 发明人 SARMA, KALLURI, R.;CHANLEY, CHARLES,S.
分类号 G02F1/1345;G02F1/136;G02F1/1368;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/306;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/764;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 G02F1/1345
代理机构 代理人
主权项
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