SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND AIR SUPPLY METHOD IN SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS,申请号KR19960055653-传众专利搜索

发明名称	SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND AIR SUPPLY METHOD IN SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号	KR100274485(B1)	申请公布日期	2000.12.15
申请号	KR19960055653	申请日期	1996.11.20
申请人	DAINIPPON SCREEN SEIJO K.K	发明人	YOSHOKA, KATSUSSHI;FUKUOMI, YOSHITERU;SUMIMOTO, KENJI
分类号	G03F7/16;B05C11/08;B05C15/00;H01L21/027;(IPC1-7):H05K3/00	主分类号	G03F7/16
代理机构		代理人
主权项
地址