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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100276421(B1) 申请公布日期 2000.12.15
申请号 KR19980023678 申请日期 1998.06.23
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 SHIROSAKI, MASAMI;TSUZIMOTO, JUNICHI;MORI, KIYOSHI
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/8239;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/76;H01L29/94;H01L31/119;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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