发明名称 Vorrichtung zum Beschichten von Substraten
摘要
申请公布号 DE4301189(C2) 申请公布日期 2000.12.14
申请号 DE19934301189 申请日期 1993.01.19
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG 发明人 ARNOLD, MANFRED;BLANG, GUIDO;GEGENWART, RAINER;MICHAEL, KLAUS;SCHERER, MICHAEL;RITTER, JOCHEN;BURKHARDT, OLIVER
分类号 C23C16/40;C23C16/50;C23C16/509;C23C16/54;H01J37/32;(IPC1-7):H05H1/46;H01J37/34 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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