DEVICE AND METHOD FOR ANALYZING ATOMIC AND/OR MOLECULAR ELEMENTS BY MEANS OF WAVELENGTH DISPERSIVE X-RAY SPECTROMETRIC DEVICES

摘要

Es wird eine Einrichtung (10) und ein Verfahren zur Analyse atomarer und/oder molekularer Elemente mittels wellenlängendispersiver, röntgenspektrometrischer Einrichtungen bzw. Verfahren vorgeschlagen, umfassend wenigstens eine eine Multilayerschicht (12) aufweisende Spiegel- oder Fokussierungseinrichtung (11), insbesondere bei einer solchen Einrichtung bzw. einem solchen Verfahren, bei der bzw. bei dem von einer zu analysierenden Probe (14) durch einfallende primäre Röntgen- oder Elektronenstrahlen (15) induzierte Fluoreszenzstrahlen (16) vor Auftreffen auf einem Mess- oder Analysedetektor (17) auf die Spiegel- oder Fokussierungseinrichtung (11) geleitet wird. Dabei wird die flächenförmige Multilayerschicht (12) durch wenigstens ein Schichtenpaar (131, 132) aus einer Lanthanschicht (La-Schicht) und aus einer Borcarbidschicht (B4C) gebildet, auf die die Fluoreszenzstrahlen geleitet und von dort reflektiert werden.