用于多层光刻胶方法的热固性聚酯防反射涂料

摘要

公开了热固性底部施用的聚合物防反射涂料,其光密度高、等离子体蚀刻速率快、在优选的涂料溶剂中溶解性高、特征覆盖优异且溶液稳定性得到改进。这些新型防反射涂料的主要组分为通过一种或多种双官能脂族羧酸与超过化学计算量的二和/或三官能脂族伯醇反应得到的聚酯树脂,其中至少一种二羧酸可含有反应性亚甲基(－CH₂－)。通过在树脂上存在的一些或所有反应性亚甲基(若存在)和/或羟基上连接光吸收基团而对所得聚酯树脂反应产物进一步改性。将连有染料的聚酯树脂与氨基塑料交联剂和催化剂在合适的溶剂体系中混合,形成最终的防反射涂料。

主权项

1.一种改进的防反射涂料组合物，包含：a.具有以下结构的羟官能、高度脂族性聚酯树脂：其中m≥1且≤100；其中R₁为二价有机基团；其中R₂为二价或三价有机基团；其中当R₂为二价时，B＝-H，而当R₂为三价时，B为-OH或-O-CO-R₃；其中A为-H或-CO-R₃；且R₃为在或靠近下列光波长中的一个或多个下提供吸收性的芳族有机基团：193nm，248nm，365nm和436nm；所得产物具有对底层防反射涂料应用有效的光吸收性能；b.衍生自密胺、脲、苯并胍胺或甘脲的烷基化氨基塑料交联剂；c.质子酸固化催化剂；d.含有低至中沸点醇的溶剂体系，其中该醇占整个溶剂体系的至少20wt％；和e.该热固性组合物基于固体物重量包含约50-90％羟官能聚酯树脂，约10-50％氨基塑料交联剂和约0.1-10％质子酸催化剂；从而使该改进的防反射涂料与其中羟官能树脂的连接结构呈高度芳香性的防反射涂料相比对基于线性酚醛清漆或聚(羟基苯乙烯)的光刻胶提供更高的等离子体蚀刻选择性。