| 发明名称 | 图案缺陷检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明揭示一种图案缺陷检测方法,是在这种预先登记正品图案,并对输入的对象图案和正品图案进行比较的图案缺陷检测方法中,比较正品图案和对象图案,检测在正品图案和对象图案中有差异的图案作为缺陷图案,并利用缺陷图案的轮廓线特征,分类检测缺陷图案。本发明提供能对各种图案缺陷进行分类并能确切地进行检测的图案缺陷检测方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1276577A | 申请公布日期 | 2000.12.13 |
| 申请号 | CN00108792.4 | 申请日期 | 2000.06.02 |
| 申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 胁谷康一;汤川典昭 |
| 分类号 | G06K9/20 | 主分类号 | G06K9/20 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 孙敬国 |
| 主权项 | 1.一种图案缺陷检测方法，预先登记正品图案，并对输入的对象图案和正品图案进行比较，其特征在于，比较正品图案和对象图案，检测在正品图案和对象图案中有差异的图案作为缺陷图案，并利用缺陷图案的轮廓线特征，分类检测缺陷图案。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府 | ||