带有吸气剂安全装置的半导体制做系统

摘要

一种半导体制做系统,包括:与用于一半导体制做设备的气体分配网络作流体连接的一基于吸气剂的气体净化器。该气体分配网络将净化的气体提供给该半导体制做设备中的至少一晶片处理室,其中该气体净化器包括:具有一金属容器的一吸气剂柱,该金属容器带有进口、出口和在该进口和出口之间延伸的一容装壁;在该容器中放置的吸气剂材料;在该吸气剂材料的顶部中配置的第一温度传感器,该第一温度传感器被定位在一熔化区中以快速检测指示在待被净化的输入气体中存在过量的杂质的放热反应的开始;及在该吸气剂材料的底部中配置的第二温度传感器,该第二温度传感器被定位在一熔化区中以快速地检测指示过量杂质被反馈给该吸气剂柱的一放热反应的开始。在该容器中分别配置一第一和第二高熔点、非金属条以使该吸气剂材料的顶部和底部部分分别与该容器的容装壁分开。还描述了一种基于吸气剂的净化器,一种制做集成电路的方法和一种保护吸气剂柱的方法。

主权项

1、一种半导体制做系统，包括：与用于一半导体制做设备的气体分配网络作流体连接的一基于吸气剂的气体净化器。该气体分配网络将净化的气体提供给该半导体制做设备中的至少一晶片处理室，其中该气体净化器包括：具有一金属容器的一吸气剂柱，该金属容器带有进口、出口和在该进口和出口之间延伸的一容装壁；在该容器中放置的吸气剂材料；在该吸气剂材料的顶部中配置的第一温度传感器，该第一温度传感器被定位在一熔化区中；及在该吸气剂材料的底部中配置的第二温度传感器，该第二温度传感器被定位在一熔化区中。