发明名称 INTERFEROMETRIC MEASURING DEVICE FOR DETERMINING THE PROFILE OR THE PITCH OF ESPECIALLY ROUGH SURFACES
摘要
申请公布号 EP1058812(A1) 申请公布日期 2000.12.13
申请号 EP19990914423 申请日期 1999.02.16
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 DRABAREK, PAWEL
分类号 G01B9/02;G01B11/14;G01B11/30;G01J9/04;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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