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1.一种微尘抑制方法,其系应用于一半导体机台上,其中该半导体机台包括一反应室及一出片舱,以及一闸门介于该反应室及该出片舱之间,以作为两腔室间传送物体之用,该抑制尘微的方法系为:a)设定一第一气压値,该第一气压値为该反应室在该闸门开启时应具的气压値;b)设定一第二气压値,该第二气压値为该出片舱在该闸门开启时应具的气压値;其中该第一气压値高于该第二气压値,使该闸门开启时,该反应室的气压大于该出片舱的气压。2.如申请专利范围第1项所述之微尘抑制方法,其中该第一气压値约为70sim90mtorr。3.如申请专利范围第1项所述之微尘抑制方法,其中该第二气压値约为60sim80mtorr。4.如申请专利范围第1项所述之微尘抑制方法,其中步骤(a)设定一第一气压値的方法为:1)装置一气压侦测器于该反应室中,用以量测该反应室内的实际气压値并显示出一气压显示値;2)调整该气压侦测器,使该气压侦测器之该气压显示値低于该反应室之该实际气压値。5.如申请专利范围第1项所述之微尘抑制方法,其中步骤(b)设定一第二气压値的方法为:1)装置一气压侦测器于该出片舱中,用以量测该出片舱内的实际气压値并显示出一气压显示値;2)调整该气压侦测器,使该气压侦测器之该气压显示値高于该出片舱之该实际气压値。6.如申请专利范围第4项或第5项所述之微尘抑制方法,其中该气压侦测器系包含有:一气压量测管,月以侦测该出片舱内的气压,以发出一气压讯号;一放大器,内含一放大倍率调整部及一零点设定部,可将该气压量测管所得之该气压讯号转换为一对应的电压値;一显示器,依据该电压値显示出对应之数値用以显示出一气压显示値。7.一种微尘抑制方法,其系应用于一半导体机台上,其中该半导体机台包括一进片舱及一反应室,以及一闸门介于该进片舱及该反应室之间,以作为两腔室间传送物体之用,该抑制尘微的方法系为:a)设定一第一气压値,该第一气压値为该进片舱在该闸门开启时应具的气压値;b)设定一第二气压値,该第二气压値为该反应室在该闸门开启时应具的气压値;其中该第一气压値低于该第二气压値,使该闸门开启时,该进片舱的气压低于该反应室的气压。8.如申请专利范围第7项所述之微尘抑制方法,其中该第一气压値约为60sim80mtorr。9.如申请专利范围第7项所述之微尘抑制方法,其中该第二气压値约为70sim90mtorr。10.如申请专利范围第7项所述之微尘抑制方法,其中步骤(a)设定一第一气压値的方法为:1)装置一气压侦测器于该反应室中,用以量测该反应室内的实际气压値并显示出一气压显示値;2)调整该气压侦测器,使该气压侦测器之该气压显示値高于该反应室之该实际气压値。11.如申请专利范围第7项所述之微尘抑制方法,其中步骤(b)设定一第二气压値的方法为:1)装置一气压侦测器于该出片舱中,用以量测该出片舱内的实际气压値并显示出一气压显示値;2)调整该气压侦测器,使该气压侦测器之该气压显示値低于该出片舱之该实际气压値。12.如申请专利范围第10项或第11项所述之微尘抑制方法,其中该气压侦测器系包含有:一气压量测管,用以侦测该出片舱内的气压,以发出一气压讯号;一放大器,内含一放大倍率调整部及一零点设定部,可将该气压量测管所得之该气压讯号转换为一对应的电压値;一显示器,依据该电压値显示出对应之数値用以显示出一气压显示値。13.一种在一反应室及出片舱之间传送物件时,微尘抑制的方法,其中该反应室及该出片舱间有一闸间作为该物件传的通道,该方法至少包含有:a)输入该闸门开启时,该反应室及该出片舱的气压显示値;b)读取该反应室及该出片舱内的气压显示値;c)比较所该读取的气压显示値是否等同于该设定的气压显示値;d)若步骤(c)的比较的结果为相同,则开启该闸门,若不相同,则回到步骤(b)续继读取该反应室及该出片舱内的气压显示値。14.如申请专利范围第13项所述之微尘抑制方法,其中该第一气压値约为70sim90mtorr。15.如申请专利范围第13项所述之微尘抑制方法,其中该第二气压値约为60sim80mtorr。16.如申请专利范围第13项所述之微尘抑制方法,其中步骤(b)读取该反应室及该出片舱内的气压显示値的方法为:1)装置一气压侦测器于该反应室及该出片舱中;2)以该气压侦测器量测反应室内的气压并转为一气压显示値。17.如申请专利范围第16项所述之微尘抑制方法,其中该气压侦测器系包含有:一气压量测管,用以侦测该出片舱内的气压,以发出一气压讯号;一放大器,内含一放倍率调整部及一零点设定部,可将该气压量测管所得之该气压讯号转换为一对应的电压値;一显示器,依据该电压値显示出对应之数値用以显示出一气压显示値。图式简单说明:第一图为蚀剖机台平面图;第二图为习知技艺的微尘量检测计录;第三图为发明示意图;第四图为第一实施例之气压量测仪显示读値的架构;第五图a为第一实施例原设定之腔体气压V.S.放大器电压的对应表;第五图b为第一实施例放大器电压V.S.气压读値的对应表;第五图c为第一实施例调整后之腔体气压V.S.放大器电压的对应表;第六图为第一实施例之微尘量检测计录。第七图为第二实施例之步骤流程图。 |
