发明名称 以气体辅助射出成型技术制造之电子集成电路(IC)晶片承载盘及其制造方法
摘要 本发明关于一种以气体辅助射出成型技术制造一电子集成电路(lC)晶片承载盘之方法,其步骤包含先将一熔融塑料以对称位置射入一IC承载盘之模穴中,再行预测或分析出熔融塑料于模穴中之波前分布,以预设压力值之氮气在熔融塑料未完全充填或恰完全充填后一段短暂之时间,以相对于IC晶片承载盘之对称位置,参酌模穴中塑料之波前分布,射入模穴中,经一段时间,再以下一次压力值之氮气进行保压,最后再行完全排放出氮气并开模而获得成品。本发明另关于一以该方法制成之IC晶片承载盘,包含一矩形外框架,复数间隔开且呈纵横交错,并于其内沿长度方向包含有气道之肋条,以与该外框架共同界定出复数容置区,以容纳并承载IC晶片,俾进行线上之制造、输送、检测等相关流程。
申请公布号 TW415001 申请公布日期 2000.12.11
申请号 TW087114928 申请日期 1998.09.08
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 王先毅;陈永志;郑龙正;刘文亮
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项 1.一种以气体辅助射出成型技术制造一电子集成电路(IC)晶片承载盘之方法,包含下列步骤:(1)将一熔融塑料以对称位置射入一IC承载盘之模穴中;(2)预设复数段压力数値;(3)将一气体增压至其中之一该预设压力値,并控制某体积;(4)预测或分析出熔融塑料于该模穴中所形成之波前分布;(5)将该预设压力値之气体以对称位置,并参考该波前分布,而将其射入已充填塑料之模穴中,经一定时间而停止;(6)将该具预设压力値之气体排放至已预先调整之下一次压力値,再将该具有下一次压力値之气体与该模穴成为通路,经一定时间而停止,以进行保压;(7)排放该气体直至与大气压力相同而停止;(8)打开模具,以形成该IC晶片承载盘。2.根据申请专利范围第1项之制造电子集成(IC)电路承载盘之方法,其中该气体为氮气。3.根据申请专利范围第1项之制造电子集成(IC)电路承载盘之方法,其中该熔融塑料,末完全射入模穴中,即进行步骤(5)之气体射入动作。4.根据申请专利范围第1项之制造电子集成(IC)电路承载盘之方法,其中该熔融塑料,恰完全射入模穴中时,即进行步骤(5)之气体射入动作。5.根据申请专利范围第2项之制造电于集成(IC)电路承载盘之方法,其中该熔融塑料,在完全射入模穴后一段时间,再进行步骤(5)之气体射入动作。6.根据申请专利范围第5项之制造电子集成(IC)电路承载盘之方法,其中该熔融塑料,在完全射入模穴后0.5至3秒后,该气体即以100至200公斤/平方厘米之压力射入模穴中,经历25至45秒而停止;然后再将该气体排放至30至80公斤/平方厘米之下一次压力,以使模穴进行保压。7.根据申请专利范围第1项之制造电子集成(IC)电路承载盘之方法,其中该步骤(4)系以电脑辅助工程(CAE)作分析及预测,以决定气体射入模穴之适当时间及位置。8.根据申请专利范围第1项之制造电子集成(IC)电路承载盘之方法,其中步骤(6)可做所需之压力及次数重覆进行。9.一种以气体辅助射出成型技术制造之电子集成电路(IC)晶片承载盘,包含:一封闭之外框架,复数肋条,系相互间隔开且呈纵横交错地设于该封闭之外框架内,至少部分该复数肋条,沿其长度方向,设有封闭于其内之第一气道,复数容置区,系由该封闭之外框架与该互呈交错之肋条所界定,沿各该容置区之周缘下方,向内设有一支板,用以容置并支持IC晶片。10.根据申请专利范围第9项之IC晶片承载盘,其中至少部分该封闭之外框架,沿其长度方向,设有封闭于其内之第二气道。11.根据申请专利范围第9项之IC晶片承载盘,该封闭之外框架,系大致呈矩形。12.根据申请专利范围第11项之IC晶片承载盘,该复数肋条,包含复数纵向肋条及横向肋条,皆呈等距离相互间隔开,使其所界定之各该复数容置区,系大致呈矩形。13.根据申请专利范围第12项之IC晶片承载盘,各该复数容置区,具有大致与欲容置之IC晶片相同之尺寸,俾该IC晶片恰可容置于该容置区内。14.根据申请专利范围第13项之IC晶片承载盘,各该支板,系为自各该肋条下方区域,同该容置区内延伸且呈矩形轮廓之环形凸缘,各该环形凸缘则界定出一贯穿口。15.根据申请专利范围第10项之IC晶片承载盘,该封闭之外框架,具有至少3毫米之材料厚度。16.根据申请专利范围第14项之IC晶片承载盘,该外框架与各该肋条,大致呈等高,而各该环形凸缘与该肋条,形成一高度差,使得当IC晶片置入该容置区时,恰不会凸出于该外框架及肋条之上。17.根据申请专利范围第11项之IC晶片承载盘,另包含复数浇注口及气体射入口,相对于该IC承载盘呈对称地设于部分该纵向肋条,部分该横向肋条及/或该外框架上。图式简单说明:第一图系显示本发明最佳实施例之IC晶片承载盘之平面外观视图;及第二图系由第一图中之线2-2所取的剖面结构示意图。
地址 新竹县竹东镇中兴路四段一九五号