DEVICE AND METHOD FOR TRANSFERRING MICROSTRUCTURES

摘要

Bei einer Einrichtung und einem Verfahren zur Übertragung von Mikrostrukturen von einem Werkzeug auf ein zu strukturierendes Substrat besteht die Aufgabe, eine gegenseitige kontrollierbare Ausrichtbarkeit von Werkzeug und formbarem Material zu gewährleisten. Die Einrichtung enthält Träger für das Werkzeug und das Substrat, die in einer Richtung gegeneinander verstellbar sind, aus der eine Abstandsänderung des Werkzeuges und des Substrates zueinander resultiert. Zur Vermessung ausgewählter Orte in mindestens einer Messebene, zu der die Richtung der Verstellung der Träger senkrecht gerichtet ist, ist ein zwischen die Träger einschiebbares Messsystem vorgesehen, das in einer Messposition mit dem Werkzeug in fester räumlicher Beziehung steht. Das Substrat ist zur Ausrichtung gegenüber dem Werkzeug parallel zur Messebene verschiebbar. Die Erfindung ist bei der Herstellung mikrostrukturierter Bauelemente anwendbar.