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发明名称
METHOD FOR ETCHING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100283409(B1)
申请公布日期
2000.12.07
申请号
KR1019980017866
申请日期
1998.05.18
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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