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发明名称 Vorrichtung zum Erzeugen eines Musters und Verwendung derselben
摘要
申请公布号 DE3822099(C2) 申请公布日期 2000.12.07
申请号 DE19883822099 申请日期 1988.06.30
申请人 LEWIS, AARON;NEBENZAHL, ISAIAH 发明人 LEWIS, AARON;NEBENZAHL, ISAIAH
分类号 G03F7/20;G11B7/0045;G11B9/00;H01J37/317;(IPC1-7):B23K26/36;B82B3/00;H01L21/304;B23K15/08;B23H9/16;G06K1/12 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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