| 摘要 |
<p>Nach dem Verfahren werden Mikrobauteile mit mindestens einer Einzellage hergestellt, die funktionale Schichten (3) auf den Wänden innerer Strukturen, beispielsweise von Strömungskanälen, aufweisen. Die Mikrobauteile sollen für eine Vielzahl unterschiedlicher Anwendungen in der chemischen Reaktionstechnik, zum Wärmeaustausch, zum Mischen von Stoffen oder zum Verdampfen von Flüssigkeiten geeignet sein. Insbesondere sollen die Mikrobauteile keine Probleme hinsichtlich der Dichtigkeit der Strömungskanäle aufweisen. Das Verfahren weist folgende Verfahrensschritte auf: A) Herstellen der mindestens einen Einzellage durch a) Herstellen einer ersten Metallschicht oder einer Metallfolie (1), b) Bilden der inneren Strukturen in und/oder auf der ersten Metallschicht oder Metallfolie (1) durch geeignete Ätzverfahren und/oder Metallauftragsverfahren, und c) Bilden der funktionalen Schichten (3) ausschliesslich auf den Wänden der inneren Strukturen, und danach B) Stapeln und Zusammenfügen der einen Einzellage mit einem die inneren Strukturen abschliessenden Segment oder mehrerer Einzellagen miteinander und mit dem abschliessenden Segment.</p> |
