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发明名称 Transporteinrichtung für Substrate und Verfahren zum Beladen der Transporteinrichtung mit Substraten
摘要
申请公布号 DE19652526(C2) 申请公布日期 2000.12.07
申请号 DE19961052526 申请日期 1996.12.17
申请人 STEAG MICROTECH GMBH;IMEC, LEUVEN 发明人 WEBER, MARTIN;MEURIS, MARC;CORNELISSEN, INGRID
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/68;B01J19/00;C23G5/04;F26B7/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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