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发明名称 Method for manufacturing silicon crystals
摘要
申请公布号 EP0882818(B1) 申请公布日期 2000.12.06
申请号 EP19980110324 申请日期 1998.06.05
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO., LTD.;JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION;MITSUBISHI MATERIALS SILICON CORPORATION 发明人 NAKANISHI, HIDEO;MAEDA, SUSUMU;ABE, KEISEI;TERASHIMA, KAZUTAKA
分类号 C30B11/00;C30B15/00;(IPC1-7):C30B15/00;C30B29/06 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
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