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发明名称 ON-CHIP ALIGNMENT FIDUCIALS FOR SURFACE EMITTING DEVICES
摘要
申请公布号 EP1057060(A1) 申请公布日期 2000.12.06
申请号 EP19990911000 申请日期 1999.02.26
申请人 THE WHITAKER CORPORATION 发明人 IMHOFF, EUGENE, A.
分类号 G02B6/42;H01S5/02;H01S5/183;(IPC1-7):G02B6/42;H01S3/025;H01L33/00 主分类号 G02B6/42
代理机构 代理人
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