集成光束整形器及其应用

摘要

一种在其入射面上具有光学元件的基片接收不具备理想形状的光束并将光束整形成预定的强度分布。基片还可包括一个第二光学元件,用于对第一光学元件提供的光束提供一个预定的相位图形。第一光学元件可以比如说利用不同功率衰减的软孔径或改变光束沿不同光轴的发散来圆化椭圆光束。当改变发散角并在输出面上设置准直光学元件时,根据发射的合成差和/或光束沿每个轴的初始差及所需的圆形度的最终差异决定透明基片不同光轴的不同发散量。光学元件可以是衍射、折射或复合元件,最好通过在基片本身上光刻制作。光源可以利用基准标记安置,形成光学元件的光刻过程也可以利用基准标记。集成光束整形器的所有元件可以形成有一个平面的晶片水平上。

主权项

1.一种光束整形器，包括：一个有一入射表面和输出表面的透明基片；一个位于所述透明基片的所述入射表面上的第一光学元件，该第一光学元件接收一入射光，在所述透明基片的所述输出表面处提供具有所需强度图形的光束；以及一个位于所述透明基片的所述输出表面上的第二光学元件，接收具有所需强度图形的所述光束，并在其上提供所需的相位轮廓。