| 发明名称 |
Electro-optic sampling probe with multiple optical excitation of IC wafer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2350675(A) |
申请公布日期 |
2000.12.06 |
| 申请号 |
GB20000012660 |
申请日期 |
2000.05.24 |
| 申请人 |
* ANDO ELECTRIC CO LTD;* NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION |
发明人 |
TADAO * NAGATSUMA;TOSHIYUKI * YAGI;NORIYUKI * TORIYAMA |
| 分类号 |
G01R13/40;G01R1/07;G01R15/24;G01R31/28;G01R31/302;G01R31/311;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/311 |
主分类号 |
G01R13/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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