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发明名称 External combustion oxidation apparatus
摘要
申请公布号 GB2315599(B) 申请公布日期 2000.12.06
申请号 GB19970015798 申请日期 1997.07.25
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 SHUICHI * MASUDA
分类号 H01L21/31;C23C16/40;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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