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经营范围
发明名称
GAS SUPPLY APPARATUS
摘要
申请公布号
KR200198452(Y1)
申请公布日期
2000.12.01
申请号
KR19970037638U
申请日期
1997.12.16
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KANG, HYO-SUK
分类号
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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