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发明名称 METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100271264(B1) 申请公布日期 2000.12.01
申请号 KR19970032809 申请日期 1997.07.15
申请人 NEC CORPORATION 发明人 SHUZUKI, HIDEKI
分类号 H01L29/73;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/331;H01L29/04;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/328 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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