发明名称 METHOD OF CONSTRUCTING CMOS VERTICALLY MODULATRD WELLS BY CLUSTERED MEV BILLI IMPLANTION
摘要
申请公布号 KR100272394(B1) 申请公布日期 2000.12.01
申请号 KR19977003421 申请日期 1997.05.19
申请人 VARIAN ASSOCIATES INC 发明人 JOHN, O BORLAND
分类号 H01L21/761;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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