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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR200198427(Y1)
申请公布日期
2000.12.01
申请号
KR19970013092U
申请日期
1997.05.31
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
HAN, JIWHAN
分类号
H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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