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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR200198422(Y1)
申请公布日期
2000.12.01
申请号
KR19950025794U
申请日期
1995.09.22
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
YUN, CHULSOO
分类号
H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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