| 发明名称 |
INSTALLATION FOR COATING A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100269403(B1) |
申请公布日期 |
2000.12.01 |
| 申请号 |
KR19950004984 |
申请日期 |
1995.03.10 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
LATSU, RUDORF |
| 分类号 |
C04B41/85;C01G19/00;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/38;C23C14/40;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C04B41/85 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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