发明名称 |
METHOD OF FORMING RECESSED OXIDE ISOLATION |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100270464(B1) |
申请公布日期 |
2000.12.01 |
申请号 |
KR19930005234 |
申请日期 |
1993.03.31 |
申请人 |
MOTOROLA INC. |
发明人 |
KENT J. COOPER;SCOTT S. ROTH;WAYNE J. RAY;HOWARD C. KIRSCH |
分类号 |
H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/31 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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