发明名称 METHOD OF FORMING RECESSED OXIDE ISOLATION
摘要
申请公布号 KR100270464(B1) 申请公布日期 2000.12.01
申请号 KR19930005234 申请日期 1993.03.31
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 KENT J. COOPER;SCOTT S. ROTH;WAYNE J. RAY;HOWARD C. KIRSCH
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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