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发明名称 PHOTORESIST DEVELOP SYSTEM
摘要
申请公布号 KR200205411(Y1) 申请公布日期 2000.12.01
申请号 KR19970032084U 申请日期 1997.11.14
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SHIN, DONG WOOK
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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