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发明名称 A CHUCK ASSEMBLY
摘要
申请公布号 KR100271811(B1) 申请公布日期 2000.12.01
申请号 KR19980046841 申请日期 1998.11.02
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SEUNG-BUM
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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