发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100272989(B1) |
申请公布日期 |
2000.12.01 |
申请号 |
KR19980018300 |
申请日期 |
1998.05.21 |
申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
TOMITA, KAZUO |
分类号 |
H01L21/768;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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