| 发明名称 |
POLISHING METHOD AND APPARATUS FOR CONTROL OF POLISHING SPEED USING IONIZED WATER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100272383(B1) |
申请公布日期 |
2000.12.01 |
| 申请号 |
KR19960020694 |
申请日期 |
1996.06.11 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
SIMOMURA, MARIKO;MIYASITA, NAOTO;OHASHI, HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B37/04;B24B57/02;C09K3/14;H01L21/306;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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