发明名称 Anordnung zum Testen von ICs
摘要
申请公布号 DE19631340(C2) 申请公布日期 2000.11.30
申请号 DE19961031340 申请日期 1996.08.02
申请人 ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 KIYOKAWA, TOSHIYUKI;FUKUMOTO, KEIICHI
分类号 G01R1/067;(IPC1-7):G01R31/28;H01L21/68 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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