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发明名称
Anordnung zum Testen von ICs
摘要
申请公布号
DE19631340(C2)
申请公布日期
2000.11.30
申请号
DE19961031340
申请日期
1996.08.02
申请人
ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO
发明人
KIYOKAWA, TOSHIYUKI;FUKUMOTO, KEIICHI
分类号
G01R1/067;(IPC1-7):G01R31/28;H01L21/68
主分类号
G01R1/067
代理机构
代理人
主权项
地址
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