METHOD OF PRODUCING SILICON MICROSTRUCTURES,申请号PL19960317270-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	METHOD OF PRODUCING SILICON MICROSTRUCTURES
摘要
申请公布号	PL179817(B1)	申请公布日期	2000.11.30
申请号	PL19960317270	申请日期	1996.11.29
申请人	INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ	发明人	GRZYWACKI MIROSLAW;GRABIEC PIOTR;ZABOROWSKI MICHAL;JAZWINSKI JERZY
分类号	H01L21/02;H01L21/70	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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