| 发明名称 |
Piezo electronic micropositioning system for micro-optical and micromechanical components, has two piezoelectric elements, two intercoupled parallel guides, and length change caused by applying voltage is transferred to output element |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10010392(A1) |
申请公布日期 |
2000.11.30 |
| 申请号 |
DE20001010392 |
申请日期 |
2000.02.29 |
| 申请人 |
TECHNISCHE UNIVERSITAET ILMENAU ABTEILUNG FORSCHUNGSFOERDERUNG UND TECHNOLOGIETRANSFER |
发明人 |
WURMUS, HELMUT;KEOSCHKERJAN, RUBEN;BURGOLD, JOERG |
| 分类号 |
H01L41/09;(IPC1-7):H02N2/02 |
主分类号 |
H01L41/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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