| 摘要 |
<p>Es wird eine miniaturisierte Terahertz-Strahlungsquelle basierend auf dem Smith-Purcell-Effekt angegeben, bei dem aus einer fokussierten Elektronenquelle ein energiereiches Bündel von Elektronen in einem definierten Abstand über ein Metallgitter aus querstehenden Gitterstäben gesandt wird, so daß durch schwingende Bildladungen elektromagnetische Wellen einer Wellenlänge ausgesandt werden, die durch die Periodizität der Stege und der Elektronengeschwindigkeit einstellbar ist. Die Elemente der Strahlungsquelle wie Feldemitter (1), elektrostatische Linse (4), Strahlablenker (5), Gitter (7) aus Metall und eine zweite Anode (8) sind auf einem Halbleiterchip mit Hilfe additiver Nanolithographie-Verfahren integriert angeordnet. Die Feldelektronenquelle ist als ein durch additive Nanolithographie aus der Oberfläche herausragender Draht aus gut leitfähigem Material mit stabilisierendem Vorschaltwiderstand ausgeführt. Der Draht wird durch rechnergesteuerte Depositions-Lithographie in gerader oder bogenförmiger Ausführung freitragend aufgebaut. Das Grundmaterial trägt in seiner Oberfläche eine Leiterbahnstruktur für die elektrischen Anschlüsse und Verbindungen (2) mit regelbaren Spannungsquellen (3) zur Versorgung der Feldemitterspitzen (1), Linse (4) und Steuerelektroden (5, 8). Die Terahertz-Strahlungsquelle ist in jeder räumlichen Lage als modular verfügbares Bauteil einsetzbar ausgeführt und leistungsstark.</p> |
