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发明名称
STEP SCANNING TECHNIQUE FOR INTERFEROMETER
摘要
申请公布号
EP0595835(B1)
申请公布日期
2000.11.29
申请号
EP19920913202
申请日期
1992.05.08
申请人
BIO-RAD LABORATORIES, INC.
发明人
CURBELO, RAUL;JOHNSON, DAVID, B.
分类号
G01B9/02;G01B11/00;G01J3/45;G01J3/453;G05B19/39;G05D3/12;(IPC1-7):G05B1/06
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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