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发明名称 EUV ILLUMINATION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1055155(A1) 申请公布日期 2000.11.29
申请号 EP19990965412 申请日期 1999.11.29
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 VERHOEVEN, JAN;LASTDRAGER, BORIS;TIP, ADRIAAN;DE BOER, DIRK, K., G.
分类号 G21K5/00;G02B17/00;G03F7/20;G21K5/08;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
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