| 发明名称 |
METHOD FOR DESIGNING AND PRODUCING A MICROMECHANICAL DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1055015(A1) |
申请公布日期 |
2000.11.29 |
| 申请号 |
EP19980965594 |
申请日期 |
1998.12.01 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
HIRTREITER, JOSEF;ELSNER, BERNHARD |
| 分类号 |
B81C1/00;C23C18/31;C23F1/02;G02B26/08;(IPC1-7):C23C18/06;C23C14/04;C23C16/04 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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