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发明名称 Deposition apparatus
摘要
申请公布号 GB2350374(A) 申请公布日期 2000.11.29
申请号 GB19990010724 申请日期 1999.05.11
申请人 * TRIKON HOLDINGS LIMITED 发明人 GORDON ROBERT * GREEN;ROBERT WILLIAM * TEAGLE;ANTHONY WILLIAM * BARRASS
分类号 C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/56;C23C14/00;C23C14/04 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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