发明名称 Verfahren zur Ankopplung einer Prüfanordnung an einen elektrischen Baustein
摘要
申请公布号 DE69423288(T2) 申请公布日期 2000.11.30
申请号 DE19946023288T 申请日期 1994.10.25
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES, INC. (N.D.GES.D.STAATES DELAWARE) 发明人 WARDWELL, ROBERT H.
分类号 G01R31/26;G01R1/04;G01R1/073;H01L21/66;H01R31/06;(IPC1-7):G01R1/04 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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