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发明名称 METHOD FOR ETCHING
摘要
申请公布号 EP1055016(A1) 申请公布日期 2000.11.29
申请号 EP19990904043 申请日期 1999.01.15
申请人 FELDMAN TECHNOLOGY CORPORATION 发明人 MCLEAN, DOUGLAS;FELDMAN, BERNARD
分类号 C23F1/16;C03C17/23;C03C17/34;C04B41/53;C09K13/04;H01L31/18;(IPC1-7):C23F1/16 主分类号 C23F1/16
代理机构 代理人
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