| 发明名称 |
Trench isolation structure, semiconductor device having the same, and trench isolation method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB0024940(D0) |
申请公布日期 |
2000.11.29 |
| 申请号 |
GB20000024940 |
申请日期 |
2000.10.11 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/316;H01L21/762;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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