| 发明名称 | 晶体的高温退火炉 | ||
| 摘要 | 一种晶体的高温退火炉,主要包括在能够密封的钟罩内,同一中心轴线的置有埚托、置于埚托上垫板上的待退火晶体,直径D<SUB>h</SUB>大于待退火晶体直径D<SUB>j</SUB>的恒温筒和直径D<SUB>f</SUB>大于恒温筒直径D<SUB>h</SUB>的发热体。发热体的热量以辐射的形式传给待退火晶体。待退火晶体不直接接触发热体,退火的温度是缓缓升高,消除了因温度突然升高而引起待退火晶体炸裂的因素。虽然退火温度可以高达2200℃,但均匀而容易控制。适宜对高温氧化物晶体的退火。 | ||
| 申请公布号 | CN2408570Y | 申请公布日期 | 2000.11.29 |
| 申请号 | CN00216702.6 | 申请日期 | 2000.03.03 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 徐军;周国清;邓佩珍 |
| 分类号 | H01L21/324 | 主分类号 | H01L21/324 |
| 代理机构 | 上海华东专利事务所 | 代理人 | 李兰英 |
| 主权项 | 1.一种晶体的高温退火炉，包括：<1>置于带排气口(17)的台板(16)上并与台板(16)密封接触的带有充气阀(3)的钟罩(1)，在钟罩(1)内置有由支撑架(14)支撑的带通到钟罩(1)外电极柱(15)的电极板(11)；<2>在钟罩(1)内电极板(11)的中心位置上，置有带冷却管柱(12)的埚托(10)，埚托(10)的上面置有置放待退火晶体(7)的垫板(9)，靠近待退火晶体(7)处有伸到钟罩(1)外的热电偶(8)；<3>待退火晶体(7)的顶上及周围置有由保温盖(2)和保温筒(4)构成的保温罩(18)，电极板(11)的支撑架(14)与埚托(10)的冷却管柱(12)之间置有保温屏(13)；其特征在于：<4>在保温筒(4)与待退火晶体(7)之间，置有圆形对称的与电极板(11)直接连接的发热体(5)；<5>在发热体(5)与待退火晶体(7)之间置有与发热体(5)同是圆形对称的直径Dh 小于发热体(5)的直径Df，大于待退火晶体(7)直径Di的恒温筒(6)；<6>上述的发热体(5)、恒温筒(6)、埚托(10)、置于埚托(10)上面的垫板(9)以及置于垫板(9)上的待退火晶体(7)均与钟罩(1)和保温罩(18)是同一中心轴线(OO)。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||