发明名称 PLATING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 EP1055020(A2) 申请公布日期 2000.11.29
申请号 EP19990902321 申请日期 1999.01.15
申请人 ACM RESEARCH, INC. 发明人 WANG, HUI
分类号 C25D5/02;C25D5/08;C25D5/18;C25D7/12;C25D21/12;H01L21/288;H01L21/48;(IPC1-7):C25D5/08 主分类号 C25D5/02
代理机构 代理人
主权项
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