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发明名称 MICROWAVE INDUCED PLASMA ELEMENT SENSOR
摘要
申请公布号 EP1055118(A1) 申请公布日期 2000.11.29
申请号 EP19990905811 申请日期 1999.02.05
申请人 MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 WOSKOV, PAUL;HADIDI, KAMAL;THOMAS, PAUL
分类号 G01N21/73;(IPC1-7):G01N21/73 主分类号 G01N21/73
代理机构 代理人
主权项
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