发明名称 COMPACT HELICAL RESONATOR COIL FOR ION IMPLANTER LINEAR ACCELERATOR
摘要 <p>소정의 주파수에서 공진 가능한 선형 가속 장치 리조네이터(70)용 컴팩트 코일 구조를 개시한다. 코일(90)은, 인접 코일 세그먼트의 평탄면(122)이 서로 마주 보도록 된 다각형 단면을 갖는, 대략 원통형인 다수의 코일 세그먼트(90a∼90n)를 포함하여 구성된다. 상기 다각형 단면은 길이(x) 및 폭(y)의 치수를 갖는 직사각형일 수도 있으며, x 치수는 상기 인접 코일 세그먼트(90a∼90n)의 평탄면(122)을 이루게 된다. 코일 세그먼트(90a∼90n)는, 코일 내부로의 냉매 주입을 위한 이중 채널 구조를 구비하고 있다. 이중 채널 구조는, 코일의 제1 선단(94)에 있어 각각 별개의 입구(100) 및 출구(102)를 갖는 입구 통로(118) 및 출구 통로(120)를 포함하여 구성되며, 상기 입구 및 출구 통로(118, 120)는 코일의 제2 선단(96)에서 서로 연결되어 연통하도록 되어 있다.</p>
申请公布号 KR20000067835(A) 申请公布日期 2000.11.25
申请号 KR19990060258 申请日期 1999.12.22
申请人 null, null 发明人 디버길리오윌리암프랜크;사다트맨드쿠어로쉬;퀴인스티븐마이클
分类号 H01J37/317;C23C14/48;H01F5/00;H01L21/265;H05H7/02;H05H7/18;H05H9/00 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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