发明名称 POWER SUPPLY UNIT FOR SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 KR20000071147(A) 申请公布日期 2000.11.25
申请号 KR19997007437 申请日期 1999.08.17
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/54;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址