| 摘要 |
<p>본 고안은 웨이퍼의 플라즈마 가공에 사용되는 장비를 조립할 때 사용하는 체임버 덮개 고정핀(100)에 관한 것으로서, 커버(60)를 갖는 반도체 웨이퍼의 플라즈마 가공 장비의 조립시 체임버 덮개(20)의 조립의 정밀도를 확인하는데 사용되는 체임버 덮개 고정핀에 있어서, 꽂아 둔 채로 상기 커버(60)를 덮을 수 있도록, 가로 세로의 길이가 짧은 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 고안에 따른 체임버 덮개 고정핀(100)을 사용하면, 체임버 덮개(20)의 고정 후에 체임버 덮개 고정핀을 다시 빼야 하는 번거로움이 사라지고, 체임버 덮개(20)를 더 튼튼히 고정할 수 있어 진동에 따른 쇼트 등의 문제를 예방할 수 있다.</p> |
